潔凈廠房裝修工程不同的潔凈等級(jí)需要不同的換氣次數(shù)。

  換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體積，單位是次/小時(shí)。各等級(jí)的潔凈廠房裝修換氣次數(shù)

  情況如下所示：

  各等級(jí)潔凈廠房裝修換氣次數(shù)

  Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes

  潔凈廠房等級(jí) 換氣次數(shù)

  10萬(wàn)級(jí)潔凈廠房 N15次/小時(shí)

  萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間 N25次/小時(shí)

  千級(jí)凈化車(chē)間 N50次/小時(shí)

  100級(jí)潔凈室 平流層 0.2—0.45m/s

  潔凈廠房裝修是按氣流狀態(tài)來(lái)分，有亂流潔凈廠房、單向潔凈室和輻射潔凈室。亂流潔 凈室特點(diǎn)是從送風(fēng)口到回風(fēng)口的流通截面始終變化，類(lèi)似一種稀釋的效果，不能 完全將顆粒送向出風(fēng)口，因此它只能達(dá)到1000級(jí)及以下的潔凈度。而單向潔凈室 可以創(chuàng)造出更高的潔凈度，其中垂直單向流潔凈室效果更好。在頂棚布滿高效過(guò) 濾器FFU，并利用地板格柵回風(fēng)，從而得到均勻向下的單向平行 氣流，自?xún)裟芰?qiáng)。

  潔凈廠房裝修的布局，從平面結(jié)構(gòu)上來(lái)看，有三種形式:開(kāi)放式、 港灣式和島型布置

  目前在8英寸和12英寸的半導(dǎo)體潔凈廠房布局普遍采用開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境 的方式，此布局方式可以為潔凈室內(nèi)的布局帶來(lái)很大的便利性，并且可以減少循 環(huán)風(fēng)量。在開(kāi)闊的空間內(nèi)，如用力室，潔凈度達(dá)到1萬(wàn)級(jí)，然后在局部的作業(yè)室 內(nèi)，通過(guò)微環(huán)境的控制將潔凈度提高到100級(jí)甚至更高。

  減少空氣的循環(huán)量，需要對(duì)風(fēng)量進(jìn)行精確的控制

  一方面要求潔凈廠房?jī)?nèi)的 設(shè)備布局更加合理，可以設(shè)置微環(huán)境，減少高規(guī)格潔凈室的面積以及單向流的需 求；

  另一方面做好凈化間的密閉性，在合理的范圍內(nèi)降低正壓的控制，保持凈化 間的正壓不要過(guò)高"I,都可以減少凈化間內(nèi)所需要的新鮮空氣的總量，降低了潔 凈室的換氣速度，對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)送入的風(fēng)量有進(jìn)一步的降低。

  新風(fēng)量的減小雖然在一定程度上節(jié)約了能源，但往往意味著會(huì)不同程度上降 低室內(nèi)空氣質(zhì)量，而通過(guò)液體除濕也可以除去空氣的潛熱負(fù)荷來(lái)降低能源消耗， 而不是通過(guò)冷卻除濕。結(jié)合兩者，基于液體除濕的空調(diào)系統(tǒng)可以通過(guò)增加新鮮空 氣進(jìn)入空調(diào)系統(tǒng)的體積來(lái)提高室內(nèi)空氣質(zhì)量。而除濕液 體可以使用氯化鈣、漠而、氯化鋰等金屬鹵鹽除濕溶液a】。