無(wú)塵室(Clean Room),也稱為潔凈室。
潔凈室是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi),而給予特別設(shè)計(jì)的房間。
不論外面空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。
無(wú)塵室的污染來(lái)源
污染源主要有四種:人員、空氣、表面、產(chǎn)品。人員的主要污染源主要來(lái)自于人體外細(xì)胞的正常脫落和著裝,另外人的嘴和鼻子也能污染空氣,說(shuō)話、咳嗽、打噴嚏也能產(chǎn)生大量的微生物粒子,也是污染的關(guān)鍵。
潔凈度等級(jí)
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(USA Federal Standard)209E(1992年)無(wú)塵室潔凈度參照
目前FPC行業(yè)主要線路壓干膜、干膜曝光、覆蓋膜貼合、油墨印刷、感光油墨曝光等工序使用無(wú)塵室,主要無(wú)塵室等級(jí)選用萬(wàn)級(jí)(7級(jí))或者10萬(wàn)級(jí)(8級(jí)),部分大的工廠會(huì)使用到千級(jí)無(wú)塵室(6級(jí))。
FPC行業(yè)無(wú)塵室常用的測(cè)試指標(biāo):
溫度:23+/-2℃
相對(duì)濕度:60+/-10%
室內(nèi)壓差:5-20PA
潔凈室設(shè)計(jì)
氣流組織型式及換氣次數(shù)
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