1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6.保給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40每立方。