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淺析光學(xué)微電子凈化工程解決方案

作者:超級管理員 瀏覽量:373 來源:本站 時間:2022-06-27 11:43:29

信息摘要:

光學(xué)微電子凈化工程解決方案: 凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:   

凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實用的方案。   

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口   

這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。   

優(yōu)點:   

A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;   

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;   

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;   

D.維修頻率較低;   

E.車間的噪音低。   

缺點:   

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;   

B.造價高。   

特點:   

A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);   

C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。   

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口   

與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。   

優(yōu)點:   

A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;   

B.布置靈活。自帶冷源;   

C.大小廠房、新舊廠房都適用;   

D.維修頻率較低;   

E.車間噪音低。   

缺點:   

A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;   

B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;   

C.造價較低。

特點:

這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。 

3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機++FFU送風(fēng)口   

這是最簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。   

優(yōu)點:   

A.不需要占用機房面積,布置很靈活的;   

B.可以滿足空氣的潔凈度;   

C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;   

D.送風(fēng)均勻度好。   

缺點:   

A.溫濕度控制較差;   

B.可以滿足空氣的潔凈度;   

C.FFU的維修頻率高。   

4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點   

A、無塵車間的潔凈度:   

LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。   

在本設(shè)計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。   

B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求:   

(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。   

(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。   

(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。   

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計,應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。


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